激光振荡器 HSL-5000 III

  HSL-4000（包括II和III）系列/5000（包括II和III）系列是一款高度可靠的紧凑型YAG激光修复系统，已在全球销售超过2000台。
  ▲HSL-4000（含II、III）系列▲HSL-5000（含II、III）系列
  特征
  使用耐温度变化的激光头双线性衬套系统减少光路变化的谐振器结构
  抗振激光头和框架采用高刚性材料强度是传统型号的两倍，即使在XY运动中也能表现出稳定的性能
  高气密性激光罩
  增强防尘性能，使激光输出长期稳定
  高精度激光输出可变系统
  -减少机械间隙
  -使用专用软件实现线性输出变化
  高稳定激光输出
  PFN方式的激光电源
  高精度电动狭缝
  ·监视器屏幕上的电子线确定校正位置和范围，实现精确的激光照射
  ·减少机械机构的间隙，实现可再现的线性运动多功能控制箱
  -包含操作员所需的所有功能
  -使用记忆按钮记忆4个加工条件
  维护方便
  更换灯泡方便
  全新设计激光头进气过滤器【HSL-4000（含II、III）系列】一键更换过滤器，更换周期长
  全新设计冷水机【HSL-5000（含II，III）系列】]
  无需工具即可更换冷却液和过滤器
  本产品具有符合JIS-C6802[激光产品辐射安全标准]的安全措施。我们建议您在使用本产品时采取安全预防措施。如果您需要更详细的技术信息，请索取规格、技术文件等。规格如有更改，恕不另行通知。

  激光振荡器
  追求加工稳定性的小型YAG激光振荡器。HSL-4000（含II、III）系列/HSL-5000（含II、III）系列是一款高可靠的紧凑型YAG激光修复系统，全球累计销售记录超过2000台。每个系列每个波长有8个型号，您可以根据处理内容选择最合适的设备。

  HSL-5500III
  这是一种能够以50Hz的高重复频率进行加工的激光系统。
  通过选择处理对象的波长可以实现各种类型的处理，每个波长有8种型号可供选择
  HSL-5000III
  HSL-5000 III是一款采用循环水冷却系统的激光系统，可以以20Hz的高重复频率进行加工。
  通过选择处理对象的波长可以实现各种类型的处理，每个波长有8种型号可供选择
  HSL-4000III
  HSL-4000 III是一款风冷激光系统，可让您构建不需要外部冷却水的简单激光修复设备。
  通过选择处理对象的波长，可以实现各种类型的处理，每种波长有7种型号。
  主要选项
  夹缝控制器APC-100θ
  这是具有加工斜线所需的θ旋转机构的狭缝单元。
  如果您需要更详细的技术信息，请索取规格、技术文件等。规格如有更改，恕不另行通知
  技术介绍
  激光修复加工简介FPD（平板显示器）制造过程中的维修设备
  维修设备通常在检查过程后安装。在检验过程中，我们使用专用检验设备对每一块FPD板进行一一检验，以确定其好坏。
  如果是有缺陷的板，则将准确的缺陷位置（坐标）作为数据输出，并且在修复过程中，发送缺陷位置（检查数据）和确定为有缺陷的FPD板。
  在修复过程中，设备操作人员目视检查送来的电路板的缺陷部分，如果确定可以修复，则通过激光加工或粘贴应用来修复缺陷部分。不幸的是，被确定为“无法修复”的电路板被从FPD制造过程中移除。这样，修复设备还具有“缺陷视觉检查装置”的作用，可以确定FPD制造过程中出现的缺陷的形状。修复工序结束后，FPD板返回到检查工序，再次判断好坏。
  修复设备的主要作用是激光加工和缺陷粘贴，由设备操作员手动完成。这是因为FPD基板上出现的缺陷的形状或形式不同，因此需要针对每个缺陷改变激光加工条件和浆料涂覆条件。然而，随着最近设备的发展，已经尝试实现激光加工和焊膏应用的自动化。
  FPD修复方法
  FPD上出现的缺陷大致可分为两种类型：由于短路和突出而导致的黑色缺陷，以及由于断线和缺口而导致的白色缺陷。（见图1和2）。脉冲宽度为纳秒（10-9秒）量级的调Q激光器用于
  修复黑色缺陷。当脉冲宽度如此短的激光照射到工件上时，该区域在与激光脉冲宽度大致相同的时间内被加热。尽管加热时间很短，但功率密度被认为达到数百MW/cm 2。因此，被激光照射的区域会以爆炸性的力量升温并蒸发。由于加热时间短，热量不会传递到激光照射以外的区域，因此不会发生加工。在修复装置中，可以根据要去除的缺陷的形状任意调整激光的形状，从而可以仅去除指定位置，如图1所示。最小加工尺寸约为1µm。另外，使用激光修复黑色缺陷的优点是，由于激光穿过作为FPD基板材料的玻璃，因此可以在接合FPD基板之前和之后进行。
  激光加工的特殊应用包括激光焊接和液晶显示器迷失方向加工。激光焊接是用于TFT基板等的方法，是在多层结构的部件中将夹在绝缘膜之间的上下金属膜进行焊接的方法。另外，LCD取向紊乱处理仅用于LCD单元（面板）基板，是用激光照射液晶取向膜并利用从该区域蒸发的粒子和热量来停止取向膜的功能的方法。。这用于修复LCD中的亮点缺陷。要进行这些特殊工艺，需要了解LCD的结构，并且需要与待加工LCD的制造商合作寻找加工条件。
  另一方面，使用浆料涂覆和激光CVD来纠正白色缺陷。激光CVD可以进行高质量的修复，但由于可以沉积的材料有限，因此可以修复的区域也有限，而且设备昂贵。浆料涂布的设备相对便宜，可涂布的膜种类也较多。然而，与激光CVD的最小加工尺寸相比，涂膏的最小尺寸相当大，达到几十微米。
  因此，在涂上浆料后，需要使用激光去除并重塑多余的突出部分，类似于修复黑色缺陷时。然后，需要对所涂敷的浆料进行烘烤，使其牢固地粘附在FPD板上。通过连续振荡激光而不是脉冲来烧制焊膏。（见图2）。
  目前，LCD和PDP基板上的ITO膜、PDP基板上的Ag电极、PDP基板上的荧光粉、PDP基板上的障壁等均采用浆料涂覆修复白色缺陷。
  由于波长吸收特征而具有加工兼容性

加工案例

关于激光器技术发展
1激光原理
A．配置
产生激光的装置称为激光振荡器。激光振荡器由激光介质、激发源和光学谐振腔（反射镜）组成，如下图所示。

激光介质：含有吸收激发源发出的光的元素的物质
光谐振器：被镜子包围的振荡器，反射特定波长的光
激励源：用于为激光介质提供能量的光源
B．发光
光吸收：
激光介质中所含的物质吸收光，导致从低能态（基态）跃迁到高能态（激发态）

光发射：

吸收光的物质从较高能态（激发态）跃迁到较低能态（基态）时会发射光
受激发射光：
当特定波长的光从外部入射到吸收光并处于激发态的物质时，会发射出强度与入射光的强度成比例的光。
CW（连续波）振荡：
连续波工作并不一定意味着激光输出是连续的，而是指激发
源连续打开。例如，当使用A/OQ开关（稍后描述）来获得
重复频率为数十kHz的脉冲振荡输出时，也称为连续波激光器。
正常脉冲振荡：
以脉冲方式打开激励源，通过电控激励源点亮时间宽度和灯电
流值来控制激光输出的波形。这里获得的光的脉冲宽度约为
0.1ms至20ms。
调Q脉冲振荡：
指激光输出大、脉宽短、峰值输出高。Q开关通常使用可以使用电信号从外部控制的A/O元件
（声光元件）和E/O元件（电光元件）。A/O用于高速重复，E/O用于高输出。

2 激光类型

3 使用案例
-光通信
- 光盘、激光光盘和其他记录设备
- 扫描仪（条形码阅读器、激光打印机等）
- 医疗保健（外科手术、牙科治疗等）
- 激光加工（切割、钻孔、打标、修剪、划线、焊接、表面硬化））
4 安全
激光束使用大量能量，因此如果不采取足够的安全和健康考虑，可能会出现眼睛和皮肤受伤等问题。激光束的种类很多，它们对人体的作用也不同。因此，日本工业标准（JIS-C6802）根据输出水平（输出、波长、曝光时间、振荡形式等）将激光设备分为七类，如下所示。
1级    2级别    3R级     4级
1M级   2级别    3B级

YAG加工的主要特点
1 激光打标机
方法
光束扫描法
固定梁法
特点
干式加工（无需焊接）
难以擦除
高速加工
易于更改打标内容和数据
可打标超小字符、商标等
非接触式加工，工件变形较小
可透过玻璃进行加工
2 激光微型切割
方法
振荡形式
冷却方式
特点
由于使用显微镜作为聚焦光学系统，激光光斑直径为1μm至150μm
兼容多种波长（1064nm、532nm、355nm、266nm），因此可以切割多种。
可以在显微镜观察的同时进行加工
配备RS-232C接口，也可以进行命令控制
易于维护。
其他加工案例
除了修复之外，我公司设计的紧凑型YAG激光振荡器可兼容多种应用，从数百微米的大面积加工到几微米的微加工。